Trong các cuộc chiến tranh, xung đột rất xa xưa, người ta đã biết sử dụng các loại vũ khí hóa học như tên tẩm thuốc độc do thổ dân da đỏ dùng để tiêu diệt ác thú, đánh giặc ngoại xâm. Người ta cũng sử dụng chất độc bỏ vào giếng nước ăn để tiêu diệt hàng loạt sinh lực đối phương. Trước Công Nguyên người Ấn Độ đã biết dùng khói hơi ngạt để hạ đối phương.

Tuy nhiên Vũ khí hóa học được sử dụng phổ biến nhất từ thế kỷ XX, đặc biệt là trong 2 cuộc đại chiến thế giới, trong Chiến tranh Việt Nam và một số cuộc chiến khác. Trong Chiến tranh thế giới thứ nhất, cả 2 phe tham chiến đều dùng Khí làm chảy nước mắt, khí Clo, khí phosgene gây ngạt chứa trong chai, trong đạn pháo, đạn cối làm cho 1.360.000 người bị nhiễm độc vì hơi ngạt trong đó có 94.000 người chết. Trong Chiến tranh Việt Nam, Mỹ đã sử dụng nhiều loại vũ khí hóa học đặc biệt là chất độc da cam gây hậu quả nặng nề cho nhân dân Việt Nam trong cuộc chiến tranh xâm lược do chất độc hóa học, để lại hậu quả nặng nề do di truyền cho bao nhiêu thế hệ.

Theo Luật pháp quốc tế, vũ khí hóa học đã bị cấm sử dụng từ năm 1899. Trong Công ước Hague 1899: điều 23 đã được thông qua bởi Hội nghị La Hay đầu tiên, "đặc biệt" cấm sử dụng "chất độc và vũ khí độc".[1]

Ngày 1/6/1990, George Herbert Walker Bush và Mikhail Sergeyevich Gorbachev ký hiệp định Xô-Mỹ về chấm dứt sản xuất vũ khí hóa học.[2]